Apr 19, 2023 Để lại lời nhắn

Tám bước của quá trình chuẩn bị mục tiêu phún xạ

Tất cả chúng ta đều nhận thức được mối quan hệ chặt chẽ giữa xu hướng phát triển công nghệ của vật liệu mục tiêu và xu hướng phát triển chế tạo mục tiêu. Công nghệ mục tiêu phải thích ứng phù hợp với cách ngành công nghiệp ứng dụng cải tiến công nghệ của hàng hóa hoặc linh kiện màng mỏng. Hãy cùng theo dõi biên tập viên để khám phá mục tiêu đã được chuẩn bị như thế nào.

1. Để tạo ra bột hỗn hợp cơ học, trộn bột oxit thiếc monome với bột oxit thiếc monome theo tỷ lệ khối lượng 9:1, hoặc trước tiên tạo ra bột hỗn hợp hóa học oxit thiếc indi bằng quy trình hóa học. Bột nguyên chất 99%, hình cầu hoặc gần như -hình cầu, có kích thước hạt trung bình là 30-200 nm và không có bằng chứng về sự kết tụ cứng.

2. Khử oxy hóa bột composite ở nhiệt độ 350 độ trong môi trường có oxy.

3. Đổ bột composite vào phong bì để ép đẳng tĩnh lạnh. Dầu được sử dụng làm môi trường ép đẳng tĩnh lạnh và sử dụng phạm vi áp suất từ ​​200 đến 280 MPa. Mật độ thô thu được nằm trong khoảng từ 45% đến 55% của mật độ lý thuyết

4. Đặt phôi thô bên trong một thùng chứa có kích thước phù hợp. Để ngăn chúng phản ứng ở nhiệt độ và áp suất cao, một màng tantalum kim loại, màng niken, màng niobi hoặc màng bạch kim được đặt giữa thùng chứa và thân thô.

5. Hút bụi thùng chứa và bọc nó bằng những khoảng trống thô.

6. Đặt thùng chứa nói trên vào lò ép đẳng tĩnh nóng. Với thời gian giữ 0,5–6 giờ và áp suất khí quyển argon là 100–120 MPa, quá trình ép đẳng tĩnh nóng diễn ra ở nhiệt độ từ 100 đến 300 bằng cấp .

7. Tháo thùng chứa bằng thép carbon sau khi ép đẳng tĩnh nóng bằng cách ngâm trong axit nitric loãng, bóc lớp lá kim loại và thu thập vật liệu mong muốn.

8. Để cắt vật liệu mục tiêu theo kích thước mong muốn, hãy sử dụng phương pháp cắt dây.

Gửi yêu cầu

Trang chủ

Điện thoại

Thư điện tử

Yêu cầu thông tin