Vật liệu mục tiêu có thị trường rộng lớn, nhiều công dụng hữu ích và một tương lai đầy hứa hẹn. Hãy nhanh chóng xem xét các yêu cầu hiệu suất chính của vật liệu mục tiêu để bạn có thể nắm bắt tốt hơn hiệu suất của vật liệu. Tôi chân thành hy vọng nó sẽ hữu ích cho bạn.
Độ tinh khiết: Bởi vì độ tinh khiết của mục tiêu có tác động đáng kể đến hiệu suất của màng, độ tinh khiết là một trong những thước đo hiệu suất chính của mục tiêu. Tuy nhiên, tiêu chí về độ tinh khiết của vật liệu mục tiêu khác nhau trong các ứng dụng thực tế. Ví dụ: kích thước của silicon tấm bán dẫn đã tăng từ 6′′, 8′′ lên 12′′ do sự mở rộng nhanh chóng của ngành vi điện tử và chiều rộng dây đã tăng từ 0.5um lên 0.25um, 0 .18um hoặc thậm chí 0.13um, trước đây là 99. Độ tinh khiết mục tiêu là 995% có thể đáp ứng các yêu cầu của quy trình 0.35umIC, trong khi đó cần 99 để chuẩn bị 0.18um line.99.9999% hoặc thậm chí 999%.
Hàm lượng tạp chất: Các nguồn ô nhiễm chính cho màng lắng đọng là các tạp chất trong chất rắn mục tiêu và oxy và hơi nước trong lỗ chân lông. Các mục tiêu khác nhau vì nhiều lý do đòi hỏi hàm lượng tạp chất khác nhau. Ví dụ, ngành bán dẫn có các tiêu chuẩn cụ thể về nồng độ của các nguyên tố phóng xạ và kim loại kiềm trong các mục tiêu làm bằng nhôm nguyên chất và hợp kim nhôm.
Mật độ: Vật liệu mục tiêu thường được yêu cầu phải có mật độ cao hơn để giảm lỗ chân lông trong chất rắn và tăng chức năng của màng phún xạ. Các đặc tính điện và quang của màng cũng bị ảnh hưởng bởi mật độ của vật liệu mục tiêu, ngoài tốc độ phún xạ. Hiệu suất của màng tăng theo mật độ mục tiêu. Khả năng chịu đựng áp lực nhiệt của vật liệu mục tiêu trong quá trình phún xạ cũng được cải thiện bằng cách tăng mật độ và cường độ của nó. Một trong những thước đo hiệu suất chính của mục tiêu là mật độ.
