Các nhà máy sản xuất mục tiêu phún xạ lớn nhất trên thế giới hiện đang sản xuất mục tiêu phún xạ bằng hợp kim nhôm bằng hai quy trình riêng biệt. được hình thành bằng cách sử dụng phương pháp đúc phun. Theo các kỹ thuật đúc và rèn đã được công nhận, việc bổ sung vật liệu hợp kim trong quá trình sản xuất các mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm thường dẫn đến sự phân tách các mục tiêu, từ đó làm giảm chất lượng của màng phún xạ và các vi hạt có khả năng hình thành trên bề mặt của mục tiêu phún xạ, điều này cũng sẽ làm thay đổi mức độ phân bố đồng đều của các đặc tính của màng.
Mặc dù có thể tránh được các vấn đề liên quan được liệt kê ở trên, nhưng nếu mục tiêu phún xạ bằng hợp kim nhôm được sản xuất bằng quy trình tạo hình phun đã biết, nó vẫn sẽ tạo ra mục tiêu phún xạ. Chi phí sản xuất tăng lên đáng kể, đặc biệt khi chế tạo một số mục tiêu phún xạ khó rèn và yêu cầu sử dụng cân bằng nóng.
Kỹ thuật này sử dụng bột phun khí để tạo ra các mục tiêu phún xạ bằng hợp kim nhôm, giúp cho việc sản xuất các mục tiêu hợp kim titan-nhôm trở nên đơn giản và ít tốn kém hơn. Bột hợp kim được sàng so với bột nguyên liệu của mục tiêu phún xạ để có kích thước hạt bột phù hợp, sau đó bột được ép nóng chân không để tạo ra mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm. Việc tạo ra các mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm khác nhau (nhôm- crom, nhôm-silicon-đồng, nhôm-titan, v.v.) có thể được thực hiện bằng phương pháp sản xuất mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm bằng bột phun khí.
Quy trình thực hiện được đề xuất trước tiên là cung cấp nguyên liệu kim loại thô để sản xuất mục tiêu phún xạ hợp kim nhôm và nấu chảy chúng thành kim loại nóng chảy; tiếp theo, tạo bột kim loại từ kim loại nóng chảy bằng phương pháp phun khí; và cuối cùng, làm nóng bột kim loại bằng chân không. được hình thành thành một hợp kim nhôm sẽ bắn tung tóe và đi qua khí trơ làm khí bảo vệ. Quá trình này có thể tạo ra các mục tiêu phún xạ chất lượng cao nhanh hơn và giá cả phải chăng hơn đồng thời tránh được những hạn chế của việc phân tách vật liệu và vi hạt.
